广州尤特旋转镍铬靶材

铟是中国在储量上占据绝对优势的资源。ITO靶材，制造的原料In是我国拥有的关键稀土铟，但由于不会加工，等日本公司采购。显示面板的上游更是日本企业垄断。目前，以ITO为主要材料的透明导电膜基本能够满足现在所需，但ITO材料在导电、透明两方面，存在相互制约性，明导电膜的发展起到阻碍作用。一直以来，原材料绝大部分均被国际上的少数几家跨国企业所垄断。半导体芯片行业是金属溅射靶材的主要应用领域之一，也是对靶材的成分、组织和性能要求高的领域。氧化铟广泛应用于有色玻璃、陶瓷、碱锰电池代缓蚀刘、化学试剂等传统领域。近年来大量应用于光电行业等高新技术领域，制造透明电极和透明热反射体材料，用于生产平面液晶显示器和除雾冰器。在高温下分解为低级氧化物。另外。在高温下可与金属铟发生反应，低温灼烧生成的In2O3虽易溶于酸，温处理得越完全就越难溶。

旋转靶材相对于平面靶材具有很多的优点，I)利用率高(70%以上)。甚至可以达到90%;2)溅射速度快，为平面靶的2-3倍；3)有效地减少打弧和表面掉渣，工艺稳定性好坐寸ο对于旋转镀膜靶材，要求旋转靶`材为单根整体，或分段焊接在同一衬管上。以目前技术条件，旋转靶材的制备方法主要包括热等静压法、热压烧结法和浇铸法，以上工艺各有优缺点，但是对不同尺寸的灵活控制难以满足，尤其是热压烧结法只能生产长度为300mm以内的单支靶材，因此只能通过多节分段焊接固定在衬管上以达到一定的长度要求，这样增加了生产的步骤,提高了靶材生产的成本。等离子喷涂旋转靶材，是将金属或非金属喷涂粉在等离子焰流中加热到熔化或半熔化状态。