日本lasertec共聚焦扫描显微镜,白光+激光显微镜L3

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日本lasertec 共聚焦扫描显微镜 optelics HYBRID+L3 白光+激光显微镜

OPTELICS?HYBRID系列共聚焦激光扫描显微镜是日本Lasertec公司自1985年开始研究生产激光显微镜以来发展到***一版本的机型，它结合了两组光学器件具备激光共焦和白光共焦功能。OPTELICS?HYBRID系列激光共聚焦显微镜2020年1月15日在日本东京正式展示OPTELICS?HYBRID系列共聚焦激光扫描显微镜引入了8项硬件改进和10项新软件功能，对OPTELICS?HYBRID系列进行了***改造。改进的机型Z方向（高度）测量精度达到0.05nm，硬件白光光源更新采用LED光源，新的软件功能包括“测量辅助”以提高易用性

和人工智能检测，以实现各种检测功能的性能。

共聚激光焦扫描显微镜***应用于金属材料，生物材料，高分子材料，半导体元器件等微小结构的测量，如微纳米级的断面分析，宽度，高度，表面粗糙度，膜厚，形状测定等千斗工业设备（苏州）有限公司代理销售三款日本Lasertec_Hybrid+共聚焦扫描显微镜，这三款机型分别为C3基本型白光共聚焦显微镜、L3标准型白光+激光共聚焦显微镜、L7多功

能型白光+激光共聚焦扫描+微分干涉观察+白光垂直干涉+反射分光膜厚测试L3标准型白光与激光共聚焦显微镜以及多功能机型L7搭载双光学系统，集6项功能与一体。

这6项功能分别为

一、白光共聚焦：具有24bit真彩观察，宽视野观察与测试，可根据样品特性选择合适的滤光片选择合适的波长。

白光共聚焦与一般激光显微镜相比视野范围扩大1.6倍，使用低倍镜也能达到高分辨率测试，使用接近太阳的白色光源得到高焦点深度的高精细彩色画像。另外HYBRID＋具备波长切换功能，用户可选择测试所需的***适波长范围。适用于单色光无法测定的样品，如IC芯片设计PI膜无法被蓝光穿透，蓝光观察只获得表面层形貌；用红光可以清晰的观察到膜下方的结构。

光刻胶、UV光固化树脂、有机膜等会被特定波长的光线破坏的样品，需选择***适波长进行观察与测试。

二、激光共聚焦：高放大倍数。高分辨率、高对比度。

三、搭载波长405nm的紫色半导体激光，无需前处理，以可媲美电子显微镜的高分辨率，鲜明捕捉纳米级细微构造。

四、微分干涉观察：可看到平面上纳米级损伤、异物。

五、共聚焦与微分干涉（DIC）相结合，实现细微凹凸形状的可视化。由于焦点深度极低，对于透明样品可以排除其背面的影响仅对表面进行观察。

四、垂直白光干涉测试：实现数毫米宽视野内的纳米级形状测试。

白光通过双光束干涉镜产生的干涉波形，通过垂直方向扫描找到干涉光强度点，得到样品的高度分布数据。原理上，高度分辨率不受物镜放大倍数影响，因此可使用低倍镜快速完成宽视野范围测试。

五、相差干涉测试：埃米级形状测试。

白光通过双光束干涉镜产生的干涉条纹，与从样品反射回的反射光的光程差直接相关。在垂直方向细微移动得到4组干涉图像，通过解析实现高分辨率的高度分布测试。

六、反射分光膜厚测试：纳米级透明膜的厚度测试利用波长切换功能对6个波长的反射率进行测定，光学建模计算得到膜厚。数nm～1μm的单层/多层膜厚可测定。测定区域在共聚焦观察图像上***，亚微米区域～全视野的数mm区域的平均膜厚均可测定。由各pixel的膜厚数据也可获取厚度分布结果。

以上六项具体功能可联系千斗工业设备（苏州）有限公司索取详细资料。

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