中图仪器SuperViewW1白光干涉仪光学轮廓仪

SuperView W1白光干涉仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。

SuperView W1白光干涉仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、国防军工、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。

SuperView W1白光干涉仪性能特点：

1、 高精度、高重复性

1） 采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和优异的3D重建算法组成测量系统，***测量精度高；

2） 独特的隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上 大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中也能稳定使用，获得极高的测量重复性；

2、 一体化操作的测量分析软件

1） 测量与分析同界面操作，无须切换，测量数据自动统计，实现了快速批量测量的功能；

2） 可视化窗口，便于用户实时观察扫描过程；

3） 结合自定义分析模板的自动化测量功能，可自动完成多区域的测量与分析过程；

4） 几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能模块齐全；

5） 一键分析、多文件分析，自由组合分析项保存为分析模板，批量样品一键分析，并提供数据分析与统计图表功能；

6） 可测依据ISO/ASME/EUR/GBT等标准的多达300余种2D、3D参数。

3、 可扩展大行程载物台

X/Y方向标准行程200mm，更可扩展外接12英寸的360度转盘和真空吸盘，实现300mm直径范围内的全覆盖测量；

4、 自动光学变倍目镜

集合了0.5×、1×和2×的多个光学倍率的可自动切换的光学变倍目镜，可与物镜组搭配使仪器具备从1.25×200×的光学放大倍率，明察秋毫的测量能力体贴入“微”。

5、 精密操纵手柄

集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。

6、 双通道气浮隔振系统

既可以接入客户现场的稳定气源也可以采用便携加压装置直接加压充气的双通道气浮隔振系统，在无外接气源的条件下也可稳定工作。